Tinjauan Sensor Resonator Kuarsa Mode Tebal-Geser untuk Suhu dan Tekanan

Abstrak—Karya ini meninjau penggunaan resonator mode geser ketebalan untuk penginderaan suhu dan pengukuran tekanan.Keuntungan dari sensor tersebut termasuk format digital inheren, resolusi tinggi, akurasi tinggi, dan stabilitas jangka panjang.Pekerjaan ini mengulas prinsip-prinsip fisik yang terlibat dalam pengoperasian perangkat bersama dengan hasil kinerja sensor yang dikutip.
Sensor suhu paling awal yang tersedia secara komersial adalah unit yang berdiri sendiri.Penggunaan dan kesuksesan komersial mereka berkembang melalui tahapan yang berbeda tergantung sebagian pada elektronik tambahan yang tersedia pada saat itu.
Sejumlah aplikasi penginderaan suhu adalah tambahan untuk sensor resonator geser ketebalan lainnya.Dua kategori utama adalah resonator terpisah untuk kompensasi suhu dan operasi mode ganda dari resonator geser ketebalan tunggal.Operasi mode ganda dibagi menjadi penggunaan dua mode dari keluarga mode geser ketebalan yang berbeda atau dua mode dari keluarga mode geser ketebalan yang sama.
Berbagai sensor tekanan menggunakan fakta bahwa frekuensi resonator geser ketebalan berubah dengan bias tegangan.Aplikasi semacam itu terbagi dengan mudah ke dalam kategori yang bergantung pada pola bias tegangan yang digunakan.
Ketentuan Indeks—Resonator piezoelektrik, pengukuran tekanan, kuarsa, transduser resonator kuarsa, resonator, pengukuran suhu, transduser.